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(参考(kao)海(hai)关商品编号:8479909020、9032899094)  3.微(wei)波等离子体化学气(qi)相沉积法(fa)(MPCVD)设备,具有以(yi)下所有特性:专门设计或制(zhi)造的(de)MPCVD设(she)备,微(wei)波功率在(zai)10千(qian)瓦以上,且(qie)微波(bo)频率为915兆(zhao)赫(he)或2450兆赫。

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